Дипломная работа: Разработка источников диффузионного легирования для производства кремниевых солнечных элементов

Выполнил

студент группы 5Ф Гречаник В.А.

Руководитель работы к.т.н. Литвиненко В.Н.

Консультанты:

Экспериментальная часть к.т.н. Литвиненко В.Н.

Экономическая часть к.т.н. Фролов А.Н.

Охрана труда Лысюк В.Н.

Норм. контроль к.т.н. Литвиненко В.Н.

Зав. кафедрой д.т.н. Марончук И.Е.

2003

МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ

Херсонський державний технічний університет

Кафедра Фізичної електроніки та енергетики

ПОЯСНЮВАЛЬНА ЗАПИСКА

до дипломної роботи на тему:

РОЗРОБКА ДЖЕРЕЛ ДИФУЗІЙНОГО ЛЕГУВАННЯ ДЛЯ ВИРОБНИЦТВА КРЕМНІЄВИХ СОНЯЧНИХ ЕЛЕМЕНТІВ

Виконав

студент групи 5Ф Гречаник В.О.

Керівник роботи к.т.н. Литвиненко В.М.

Консультанти:

Експеріментальна частина к.т.н. Литвиненко В.М.

Економічна частина к.т.н. Фролов О.М.

Охорона праці Лисюк В.М.

Норм. контроль к.т.н. Литвиненко В.М.

Зав. кафедрою д.т.н. Марончук І.Є.

2003

РЕФЕРАТ

Пояснительная записка содержит 102 страницы текста, 11 таблиц, 17 рисунков, 20 источников использованной литературы.

Данный дипломный проект направлен на рассмотрение процесса диффузии при изготовлении кремниевых солнечных элементов. В работе дан анализ различных источников диффузионного легирования кремния, а также методов проведения диффузии.

В работе были разработаны поверхностные источники для диффузии бора и фосфора на основе спиртовых растворов борной и ортофосфорной кислот. Приведена технология, позволяющая получать диффузионные слои с заданным значением глубины залегания p – n перехода.

Были проведены исследования по методу диффузии из поверхностного источника на основе легированного окисла. Необходимо заметить, что в технологии диффузионного легирования с использованием данного источника наиболее важным является разработка технологии приготовления раствора и нанесения его на полупроводниковые пластины кремния.

Данные источники могут найти промышленное применение в технологии изготовления кремниевых солнечных элементов, так как их использование не требует сложного оборудования, метод диффузии сравнительно прост, возможно проведение процесса диффузии в атмосфере воздуха.

СОДЕРЖАНИЕ

Введение....................................................................................................... 6

1. Источники примесей для диффузионного легирования кремния и

технология диффузии примесей в кремний................................................ 10

1.1. Источники примесей для диффузионного легирования кремния...... 10

1.1.1. Твердые планарные источники (ТПИ) ............................................ 11

1.1.1.1. Источники для диффузии бора ..................................................... 12

--> ЧИТАТЬ ПОЛНОСТЬЮ <--