Реферат: Использование дефектов, возникающих при имплантации водорода или гелия, для формирования глубинных структур в кремнии

Частоту ωp, при которой пиннинг перестает влиять на сопротивление сверхпроводника определим [9]:

. (9)

Оценки дают значение ωp = 103 - 104 Гц.

Рис.4. Профили распределения кислорода и кремния по глубине (а) и спектры РОР (б) для структуры со сформированными одномерными дефектами.

Приведенные на рисунках 3 и 4 результаты позволяют утверждать, что в приповерхностной области кремния толщиной приблизительно 1,4 мкм возникают одномерные дефекты, представляющие собой окисленные кремниевые трубки.

Исследование процессов молекулярной релаксации методами колебательной спектроскопии дает богатую информацию о структурно-динамических свойствах солевой системы. Такого рода исследования основаны на том факте, что ширины полос в колебательном спектре обратно пропорциональны временам молекулярной релаксации [1 - 3]. При этом каждый из релаксационных процессов дает вклад в общую ширину колебательной полосы. Молекулярная релаксация может быть разделена на ориентационную и колебательную. Процессы колебательной релаксации, в свою очередь, подразделяются на адиабатические и неадиабатические. Среди адиабатических наибольшее значение имеют процессы колебательной дефазировки. К неадиабатическим процессам относится релаксация за счет отталкивательных, диполь-дипольных и ион-дипольных взаимодействий, а также резонансный обмен колебательными квантами и внутримолекулярный распад колебательных состояний с участием фононов. В последнем случае внутримолекулярная колебательная релаксация рассматриваемой моды сопровождается рождением колебания с меньшей частотой и возмущением ближайшего окружения. В свете этих рассуждений, в настоящей работе предпринята попытка, проанализировать возможные дополнительные механизмы колебательной релаксации в бинарных солевых системах с молекулярными ионами по сравнению с индивидуальными солями.

Все перечисленные выше факторы молекулярной релаксации, имеющие место в индивидуальных солях [4], актуальны и для бинарных солевых систем. Надо иметь в виду, что в бинарной солевой системе кристаллическая структура исходных солей меняется, и это может сказаться на изменении характеристик соответствующих спектральных переходов. Однако, в бинарных солевых системах, имеющих два сорта молекулярных ионов, возможен еще один релаксационный механизм, если различные молекулярные ионы имеют близкие по частотам внутримолекулярные колебания (ВМК). При этом релаксация колебания ni молекулярного иона одного сорта может сопровождаться возбуждением соответствующего nj колебания молекулярного иона другого сорта, а разница энергий передаваться фононам решетки. Такой межмолекулярный фононный распад реализуется при условиях:

nj <ni , ni - nj <nm , (1)

где nm - максимальная частота фононного спектра. Тогда ширину d колебательной полосы бинарной солевой системы можно представить в виде [5]:

d = ddep + ddd + did + drep + dres + dimp + demp + dor , (2)

где ddep - вклад в ширину спектральной линии за счет колебательной дефазировки; ddd , did , drep - вклады за счет диполь-дипольных, ион-дипольных, отталкивательных взаимодействий; dres - вклад за счет резонансной передачи колебательных квантов; dimp - вклад за счет процессов внутримолекулярного фононного распада колебательно-возбужденных состояний, demp - вклад в ширину спектральной линии за счет процессов межмолекулярного фононного распада колебательно-возбужденных состояний.

Целью настоящей работы является сравнение процессов молекулярной релаксации в бинарных солевых системах, для которых выполняется условие (1), и в индивидуальных солях, а также выявление возможных дополнительных механизмов релаксации колебательно-возбужденных состояний молекулярных ионов.

В соответствии с целью в качестве объектов исследования выбраны следующие эквимолярные бинарные солевые системы: нитрат калия - сульфат натрия (KNO3 - Na2 SO4 ), нитрат натрия - сульфат натрия (NaNO3 - Na2 SO4 ) и нитрат натрия - ацетат натрия (NaNO3 - NaCH3 COO). Система KNO3 - Na2 SO4 приготавливалась смешиванием мелкодисперсного порошка сульфата натрия с расплавом нитрата калия при температуре 620 ¸ 630 К, а затем медленно охлаждалась непосредственно во вращающемся тигле. Системы NaNO3 - Na2 SO4 и NaNO3 - NaCH3 COO приготавливались аналогично. При этом температура расплава нитрата натрия составляла 590 ¸ 600 К.


Рис.5. Температурная зависимость ширины контура n1 (A) колебания NO3 - в кристалле KNO3 (1 ) и в системе KNO3 - Na2 SO4 (2 ).

Рис.6. Температурная зависимость ширины контура n1 (A) колебания NO3 - в кристалле NaNO3 (1 ), а также в системах NaNO3 - NaCH3 COO (2 ) и NaNO3 - Na2 SO4 (3 ).

В этих системах для полносимметричного валентного колебания n1 »1050¸1070 см-1 аниона NO3 - выполняется условие (1), так как полносимметричное валентное колебание n1 (SO4 2- ) аниона SO4 2- и валентное колебание n (C-C) связи C-C аниона CH3 COO- локализованы в области 990¸1000 cм-1 и 930 cм-1 соответственно [6]. В таких системах, в принципе, возможна диссипация колебательной энергии ВМК нитрат-иона с последующим возбуждением соответствующего ВМК сульфат-иона или ацетат-иона и рождением решеточного фонона. В системе нитрат - сульфат разница в частотах указанных ВМК составляет примерно 60¸70 см-1 , а для системы нитрат - ацетат около 120¸140 см-1 . Эти значения попадают в область достаточно высокой плотности фононного спектра исследуемых кристаллов [7, 8].

Спектры КР регистрировались спектрометром ДФС-24 в области валентных полносимметричных колебаний n1 (A) нитрат-иона NO3 - и n1 (A) сульфат-иона SO4 2- , а также валентного колебания n (C-C) связи C-C ацетат-иона CH3 COO- от 850 до 1150 см-1 в интервале температур 298 ¸ 587 K. Положения максимумов колебательных полос фиксировалось с точностью ±0.5 см-1 , а их ширины - с точностью ±0.1 см-1 . Температура образцов поддерживалась в процессе регистрации спектров с точностью ±0.5 К. Методика регистрации и обработки спектров КР подробно описана в [9-11]. Спектры рассматриваемых колебаний резкополяризованы и их формирование можно приписать процессам колебательной релаксации.

На рис.1 представлена температурная зависимость ширины d контура n1 (A) колебания NO3 - в кристалле KNO3 (1 ) и в бинарной системе KNO3 - Na2 SO4 (2 ). Сравнение ширины контура n1 колебания NO3 - в бинарной смеси с соответствующими данными для кристалла KNO3 показывает, что их величины и скорость температурного уширения значительно выше в спектре КР системы KNO3 - Na2 SO4 . Можно констатировать, что в бинарной системе имеют место факторы, способствующие увеличению скорости колебательной релаксации моды n1 аниона NO3 - по сравнению с индивидуальной солью. По нашему мнению, объяснение данному факту можно найти, если допустить наличие сильного взаимодействия между разными анионами с близкими частотами ВМК, при котором реализуется механизм фононного распада по выше указанной схеме.

На рис.2 представлена температурная зависимость ширины d контура n1 (A) колебания NO3 - в кристалле NaNO3 (1 ), а также в бинарных системах NaNO3 - NaCH3 COO (2 ) и NaNO3 - Na2 SO4 (3 ). Как видно, скорость релаксации (пропорциональная ширине d) колебания n1 (A) аниона NO3 - в бинарной системе больше, чем в кристаллах NaNO3 . Это можно объяснить наличием в бинарной солевой системе дополнительного механизма релаксации колебания n1 (A) нитрат-иона, связанного с возбуждением полносимметричного колебания аниона SO4 2- или валентного колебания n (C-C) аниона CH3 COO- и "рождением" решеточного фонона. Возможность такого механизма релаксации обусловлена тем, что разница в частотах между колебанием n1 (A) нитрат-иона (1070 см-1 ), с одной стороны, и колебаниями n1 (A) сульфат-иона (1000 см-1 ) и n (C-C) ацетат-иона (930 см-1 ), с другой стороны, отвечает фононному спектру соответствующих кристаллов. В пользу предложенного механизма релаксации говорит и тот факт, что разница (1.5¸2 см-1 ) между ширинами спектральной линии моды n1 (A) NO3 - в NaNO3 и в NaNO3 - Na2 SO4 больше, чем соответствующая разница (0.5 см-1 ) в NaNO3 и в NaNO3 - NaCH3 COO. Этот факт представляется весьма естественным, так как разница частот колебаний в случае системы NaNO3 - Na2 SO4 (70 см-1 ) оказывается в области большей плотности состояний фононного спектра, чем соответствующая разница для системы NaNO3 - NaCH3 COO (140 см-1 ).

Таким образом, в бинарных солевых системах, в принципе, возможен квазирезонансный обмен колебательными квантами между различными молекулярными ионами с близкими значениями частот ВМК. Поэтому увеличение скорости колебательной релаксации моды n1 (A) NO3 - в бинарной солевой системе, по сравнению с индивидуальной солью, следует связать с близкодействующими обменными взаимодействиями анионов, при которых диссипация колебательной энергии нитрат-иона сопровождается переходом SO4 2- или CH3 COO- в колебательно возбужденное состояние и "рождением" решеточного фонона.

Причиной формирования наблюдаемых одномерных дефектов является способность инкорпорированного в кремний водорода или гелия выходить к поверхности пластины, создавая при этом одномерные дефектные области. В процессе последующего введения кислорода из плазмы происходит их окисление, в результате чего в пластине и формируется система оксидных нанотрубок.

Литература

1. А.В. Раков. Труды ФИАН СССР, 27 (1964).

2. К.А. Валиев, Е.Н. Иванов. Успехи физических наук 109, 1 , 31 (1973).

3. К. Сарка, С.А. Кириллов. Украинский физический журнал, 26, 7 , 1118 (1981).

4. A. R. Aliev, M. M. Gafurov, I. R. Akhmedov. Chemical Physics Letters 378, 1-2 , 155 (2003).

5. А.Р. Алиев, М.М. Гафуров. Журнал физической химии, 79, 6 , 1087 (2005).

К-во Просмотров: 213
Бесплатно скачать Реферат: Использование дефектов, возникающих при имплантации водорода или гелия, для формирования глубинных структур в кремнии