ФОТОЛИТОГР́АФИЯ, литография с использованием печатной формы, созданной на поверхности литографского камня посредством фотокопирования; оттиск, полученный с такой формы. Ф. в планарной технологии - способ образования на поверхности полупроводн. кристалла (подложки) маски с "окнами" определ. форм и размеров для последующего формировани