ХИМ́ИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, получение твёрдых в-в с помощью хим. реакций, в к-рых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллич. плёнок (напр., в планарной технологии), нитевидных монокристаллов ("усов"), барьерных слоёв (предотвращающих