1) специальный фотография, процесс на фоторезистах , отличающийся высокой разрешающей способностью . Цель Ф. v создать в слое фоторезиста 'окна' заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под этим слоем полупроводниковой пластине с окисной плёнкой. Такие 'окна' образуются при экспонировании фоторезиста в потоке