Дипломная работа: Разработка интегральной микросхемы истокового повторителя для слухового аппарата
Ri
30
4. Выходное сопротивление, кОм
VSS = 1,2 ±10 %;
Vi = 30 мВ; f = 1 кГц
RO
3,5
5. Напряжение шума на выходе в полосе «А», мкВ
VSS = 1,2 ±10 %;
CS = 10 пФ
Uno
2,5
6. Коэффициент неравномерности АЧХ:
в диапазоне 100÷ 1 кГц, дБ
в диапазоне 50÷100 Гц и
1000÷20 кГц, дБ
VSS = 1,2 ±10 %;
Vi = 30 мВ;
RL ≥ 1 МОм;
CS = 10 пФ±5 %
AFM
0,5
1
 |
?????????? ????????? ??? ???????? ?? ??????? 12. ???????? ?????????????? ??????? ????????? ? ???.
S – исток; D – сток; G – затвор.
Рисунок 12 – Физическая структура ИМС [6]
Технологические параметры физической структуры ИМС и их нормы в соответствии с рисунком 12 приведены в таблице 1.2.
Таблица 1.2 – Технологические параметры физической структуры ИМС
| Обозначение слоя | Наименование слоя | Технологические параметры слоя | Примечание |
| 1 | p-подложка | 480 КДБ10 Ø100 мл. | |
| 2 | n-эпитаксиальный | r = 3 ± 0,5 Ом×см; hэс = 3 ± 0,4 мкм | |
| 3 | p+-разделение | RS = 15 ± 3 Ом/ð; xJ ≥ hэс | изоляция |
| 4 | p-базовый | RS = 100 ± 10 Ом/ð; xJБ = 2,3 ± 0,2 мкм | область затвора |
| 5 | n+-эмиттерный | RS = 5 ± 1 Ом/ð; xJЭ = 1 – 2 мкм | область стока, истока |
| 6 | окись кремния, SiO2 | h = 0,5 ± 0,03 мкм | изоляция |
| 7 | металлизация, Al | h = 1,2 ± 0,2 мкм | проводники и контактные площадки |
1.5 Измерение электрических параметров и характеристик ИМС
Измерение электрических параметров проводилось по методу 500-1 ОСТ 11.073.013-83 на ИМС истокового повторителя производства ОАО «НИИМЭ и «Микрон» г. Зеленоград. При этом измерение коэффициента передачи по напряжению, тока потребления, а также входного и выходного сопротивлений проводились при двух значениях напряжения питания VSS1 = 1,5 В, VSS2 = 2,0 В по установившемуся значению выходного напряжения [5].
Измерение коэффициента передачи по напряжению AV и тока потребления ISS проводились согласно ГОСТ 19799-74, метод 2570 в режимах и условиях, указанных в таблице 1.1. Схема включения ИМС приведена на рисунке 13.
G1 – стабилизированный источник питания; PA – прибор комбинированный Щ68000;
 |
G2 ? ????????? ???????? ?3-107; PV1, PV2 ? ?????????????? ?3-59; D1 ? ?????????? ???.
Рисунок 13 – Схема включения ИМС при измерении коэффициента
передачи AV и тока потребления I SS
2. Измерение полного входного сопротивления Ri проводились согласно ГОСТ 19799-74, метод 7500 в режимах и условиях, указанных в таблице 1.1. Схема включения ИМС приведена на рисунке 14.
 |
G1 – стабилизированный источник питания; G2 – генератор сигналов Г3-107; PV – милливольтметр В3-59; D1 – измеряемая ИМС.
Рисунок 14 – Схема включения ИМС при измерении полного входного
сопротивления Ri
Значения напряжений на выходе ИМС представлены в таблице 1.3, где VO ’ и VO ” – напряжения на выходе ИМС соответственно при разомкнутом и при замкнутом переключателе В1 .
Таблица 1.3 – Значения V O ’ и V O ”, измеренные при VSS 1 и VSS 2
| Напряжение питания | Напряжение на выходе | |
| VO ’, мВ | VO ”, мВ | |
| VSS 1 = 1,5 В | 7,300 | 4,124 |
| VSS 2 = 2,0 В | 7,364 | 4,230 |
Полное входное сопротивление ИП определяется по формуле [5]