Дипломная работа: Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления

Базовая установка для напыления тонких пленок термическим вакуумным испарением была предусмотрена для реализации последовательного напыления двух различных металлов путем поочередного подключения испарителей к силовому блоку питания, а также была оснащена заслонкой с управлением электромагнитом.

2.1. Конструкция и принцип работы базовой лабораторной установки вакуумного напыления

2.1.1. Блок-схема

Установка состоит из трех основных структурных единиц. Это, собственно, вакуумная камера, в которой производится нанесение тонких пленок, средства