Дипломная работа: Устройство управления газонатекателями при магнетронном распылении
16. установленная безотказная наработка, ТУ ,не менее 360 ч.
17. Коэффициэнт готовности, КГ =0.99.
18. Установленный срок службы не менее 2.4 года.
19. Полный средний срок службы не менее 6 лет.
20. Блоки газовые устройства герметичны при избыточном давлении гелия 0.12 Мпа
21. Пределы допускаемых значений составляющих погрешности преобразования расхода газа и другие технические характеристики устройства определены в нормальных условиях.
Нормальные условия следующие:
1) температура окружающего воздуха (+20 ± 2)0 С;
2) относительная влажность от 30 до 80٪;
3) атмосферное давление от 0.08 до 0.11 Мпа;
4) отклонение напряжения питания от номинального значения от -15 до +10٪, коэффициент гармоник до 5٪;
5) внешние электрические и магнитные поля отсутствуют;
6) рабочее положение блока газового горизонтальное с допускаемым отклонением ± 10 ;
7) вибрация с частотой до 25 ГЦ с амплитудой виброперемещений не более 0.1 мм;
8) рабочий газ азот особой частоты по ГОСТ 9293-74;
9) избыточное давление рабочего газа (0.07 ± 0.005) Мпа;
10) температура рабочего газа (+20 ± 2)0 С;
11) различие между температурой рабочего газа и температурой окружающего воздуха не более ± 20 С;
12) значение сопративления нагрузки не менее 2 кОм;
13) время установления рабочего режима 1 ч.
3. Выбор и обоснование компоновочной схемы, метода и принципа конструирования
Разрабатываемое устройство управления гаонатекателями относится к стандартной аппаратуре, которая работает в специальных помещениях: лабораториях и т.п., где создаются условия, обеспечивающие продолжительную и надежную эксплуатацию.
Компоновочные схемы блоков определяются количеством и видом составляющих элементов (модульных узлов) и их расположением .
Разрабатываемое устройство представляет собой одноплатную конструкцию. Преимуществом такой компоновочной схемы являются:
- минимальное число деталей конструкции;
- хорошая ремонтопригодность;
- минимальные габариты изделия.
Существует несколько методов конструирования. Рассмотрим наиболее распространенные из них.
Геометрический метод. В его основу положена структура геометрических и кинематических связей между деталями, представляющая собой систему опорных точек, число и размеры которых зависят от заданных степеней свободы и геометрических свойств твердого тела. Этот метод обычно применяется при проектировании конструкций, в которых должно соблюдаться точное взаиморасположение деталей или обеспечиваться их точное перемещение .