Реферат: Акустические и капиллярные методы контроля РЭСИ. Электролиз (пузырьковый метод)

Таблица 3

Зависимость пористости диэлектрических пленок на кремниевых подложках от способов получения пленок

N	Различные способы осаж­дения пленок SiO2	Плотность пор, см2	Эффективный диа­метр пор, мкм
1	Термические	10-60	0,1 - 0,5
2	Термические, после опе­рации фотолитографии	100 - 500	102- 103
3	Пиролитические	50 - 200	0,1 -0,5
4	Электронно-лучевые	104 - 105	0,01 - 0,05
5	Катодные	104 - 106	0,1 - 10

Рисунок 6 – Испытательная ячейка для электролиза

1 – исследуемая структура; 2 – нижний электрод; 3 - резиновое кольцо; 4 – электролит; 5 – верхний электрод.

ЛИТЕРАТУРА

1. Глудкин О.П. Методы и устройства испытания РЭС и ЭВС. – М.: Высш. школа., 2001 – 335 с 2001

2. Испытания радиоэлектронной, электронно-вычислительной аппаратуры и испытательное оборудование/ под ред. А.И.Коробова М.: Радио и связь, 2002 – 272 с.

3. Млицкий В.Д., Беглария В.Х., Дубицкий Л.Г. Испытание аппаратуры и средства измерений на воздействие внешних факторов. М.: Машиностроение, 2003 – 567 с 2003

4. Национальная система сертификации Республики Беларусь. Мн.: Госстандарт, 2007 2007

5. Федоров В., Сергеев Н., Кондрашин А. Контроль и испытания в проектировании и производстве радиоэлектронных средств – Техносфера, 2005. – 504с.