Реферат: Расчет неинвертирующего усилителя
На рис. 25,б выделена рабочая область III ВАХ. Крутизна характеристики в этой области зависит от давления рабочего газа, в нашем случае аргона. Рабочая точка, характеризующая режимы обработки - давление газа Р, ток Jp и напряжение Up разряда, лежит на нагрузочной характеристике источника питания:
|
| (43) |
где Uп - напряжение питания.
С другой стороны, скорость распыления мишени W[г/см2Чс]
|
| (44) |
где С - коэффициент, характеризующий род распыляемого материала и род рабочего газа; Uнк - нормальное катодное падение напряжения (область II ВАХ); jp - плотность разрядного тока; dTП - ширина тёмного катодного пространства.
Из (44) следует, что максимальная скорость распыления достигается при максимальной мощности, выделяемой в разряде. Согласно нагрузочной характеристике (43):
|
|
