Реферат: Развитие кремниевой микроэлектронной технологии
Преимуществом такой системы, является возможность измерения низких избыточных и дифференциальных давлений, достаточно высокая точность и незначительная температурная зависимость.
Однако датчик чувствителен к магнитным воздействиям, что объясняется наличием катушек, которые при прохождении переменного сигнала создают магнитное поле.
Подводя итог, приведем основные достоинства и недостатки различных методов преобразования давления в электрический сигнал, результаты сведены в таблице 2.
Таблица 2 – Достоинства и недостатки измерителей давления
Достоинства | Недостатки | |||||||||||
Тензометрический (КНС-преобразователи) | ||||||||||||
1. Высокая спень защиты от агрессивной среды. 2. Высокий предел рабочей температуры. 3. Налажено серийное производство. 4. Низкая стоимость. |
1 Неустранимая нестабильность градуировачной характеристики. 2. Высокие гистерезисные эффекты от давления и температуры. 3. Низкая устойчивость при воздействии ударных нагрузок и вибраций. | |||||||||||
Пьезорезистивный (на монокристаллическом кремнии) | ||||||||||||
1. Высокая стабильность характеристик. 2. Устойчивость к ударным нагрузк-ам и вибрациям. 3. Низкие (практически отсутствуют) гистерезисные эффекты. 4. Высокая точность. 5. Низкая цена. 6. Возможность измерять. давление различных агрессивных средств. | 1. Ограничение по температуре (до 150ºC). | |||||||||||
|