Реферат: Развитие кремниевой микроэлектронной технологии

Преимуществом такой системы, является возможность измерения низких избыточных и дифференциальных давлений, достаточно высокая точность и незначительная температурная зависимость.

Однако датчик чувствителен к магнитным воздействиям, что объясняется наличием катушек, которые при прохождении переменного сигнала создают магнитное поле.

Подводя итог, приведем основные достоинства и недостатки различных методов преобразования давления в электрический сигнал, результаты сведены в таблице 2.

Таблица 2 – Достоинства и недостатки измерителей давления

Достоинства Недостатки
Тензометрический (КНС-преобразователи)

1. Высокая спень защиты от агрессивной среды.

2. Высокий предел рабочей температуры.

3. Налажено серийное производство.

4. Низкая стоимость.

1 Неустранимая нестабильность градуировачной характеристики.

2. Высокие гистерезисные эффекты от давления и температуры.

3. Низкая устойчивость при воздействии ударных нагрузок и вибраций.

Пьезорезистивный (на монокристаллическом кремнии)

1. Высокая стабильность характеристик.

2. Устойчивость к ударным нагрузк-ам и вибрациям.

3. Низкие (практически отсутствуют) гистерезисные эффекты.

4. Высокая точность.

5. Низкая цена.

6. Возможность измерять. давление различных агрессивных средств.

1. Ограничение по температуре (до 150ºC).
Емкостной

1. Высокая точность.

2. Высокая стабильность харак-теристик.

3. Возможность измерять низкий вакуум.

4. Простота конструкции

1. Зачастую, нелинейная за-висимость емкости от прило-женного давления.

2. Необходимо дополнительное оборудование или электричекая схема для преобразования емкостной зависимости в один из стандартных выходных сигналов.

Резонансный

1. Высокая стабильность характеристик.

2. Высокая точность измерения давления. арам

1. При измерении давления агрессивных сред необходимо защитить чувствительный элемент, что приводит к потери точности измерения.

2. Высокая цена.

3. Длительное время отклика.

4.Индивидуальная характеристика преобразования давления в электрический сигнал.

Индукционный

К-во Просмотров: 238
Бесплатно скачать Реферат: Развитие кремниевой микроэлектронной технологии