Реферат: Свойства арсенида индия

синтез арсенида металла II группы;

гидролиз арсенида с получением арсина;

очистка арсина сорбцией;

вымораживание и ректификация;

разложение арсина до металлического мышьяка.

Мышьяк, полученный по приведенным схемам, с успехом используется для синтеза арсенида индия. Кроме того, треххлористый мышьяк находит широкое применение для нарашивания эпитаксиальных слоев арсенида индия.

Эпитаксиальное наращивание арсенида индия из газовой фазы.

Газотранспортные процессы, в основе которых лежат обратимые химические реакции, широко применяются для получения эпитаксиальных структур полупроводниковых соединений А³ В⁵ . Основными достоинствами процесса получения эпитаксиальных слоев арсенида индия из газовой фазы в проточной системе являются:

простота конструктивного оформления процесса;

низкое пересыщение вещества над растущим кристаллом;

сравнительно невысокие температуры кристаллизации, возможность предотвращения загрязнения материалом контейнера;

возможность управления процессом роста изменением скорости потока и концентрации транспортирующего агента;

широкие возможности легирования слоев различными примесями;

возможность автоматизации процесса;

осуществление непрерывного процесса;

возможность получение многослойных структур и заданной морфологии.

Суммарные реакции, наиболее часто используемых для осаждения эпитаксиальных слоев арсенида индия и переноса компонентов, в общем виде мощно представить следующим образом:

4InГ₃ +As₄ +6H₂ «4InAs+12HГ;------(8)

3As+2InГ₃ +3/2H₂ «3AsГ+2In+3HГ,----------(9)

3AsГ+2In«2InAs+AsГ₃ ;------(10)

In+As«InAs;------------(11)

2InAs+3Г₂ «InГ₃ +As₂ ;------(12)

2InAs+H₂ O«In₂ O+As₂ +H₂ ;------(13)

где Г - галоген. Арсенид индия в виде эпитаксиальных слоев получают методами транспортных реакций либо синтезом из элементов, либо пересублимацией соединения. Для переноса чаще всего используют галоиды (трихлориды элементов III и V групп, хлористый водород) и воду. Галоидные системы (хлоридные, йодидные) имеют преимущества перед системой H₂ O-H, поскольку хлор и йод являются нейтральными примесями для арсенида индия.

Система In-AsCl₃ -H₂ .

Достоинствами системы можно считать:

малое число исходных компонентов в системе;

устранение предварительного получения InAs, используемого в качестве источника;

возможность глубокой очистки AsCl₃ ректификацией;