Курсовая работа: Методи одержання і вимоги до діелектричних плівок
Процесами осадження плівок нітриду кремнію можна керувати шляхом зміни температури, загального тиску в реакторі, концентрації реагентів і градієнта температури в печі. Температурна залежність швидкості осадження нітриду кремнію складає ~ 1,8 еВ. З’ясовано , що швидкість осадження зростає зі збільшенням загального тиску в системі або парціального тиску дихлорсилану і зменшується при збільшенні концентрації аміаку в реакційній суміші. Для одержання більш однорідних по товщині плівок кінець проекційної труби має нагріватися до більш високих температур.
Опір плівок нітриду кремнію при кімнатній температурі складає ~1016 Ом . см. Їх електрична провідність залежить від температури осадження, співвідношенням реагентів в газовій фазі, кількості кисню в плівці і наявності домі шків кисню.
6. Вимоги до діелектричних плівок
Знаючи про фізику діелектричних плівок і в загальних нарисах опису областей їх застосування, можна зробити висновок про класифікацію діелектриків в залежності від їх використання. Діелектрики середнього класу, які мають tgδ = 1%, використовуються в основному в ізоляторах і конденсаторах. Але зараз є великий не достаток високоякісних діелектриків (tgδ ≤ 0,1% t> 1000с), які йдуть на виготовлення конденсаторів з малими втратами, затворів в польових транзисторах і т.д.
Для того, щоб вважати плівки високоякісними потрібно дотримуватись багатьох умов. По-перше потрібно, щоб плівка мала високу механічну міцність. Як уже досліджено після напилення тонкі плівки знаходяться в стані механічного напруження, яке може бути викликано або напругою стиску (викликає розтріскання плівки). Очевидно, що розтягання потрібно уникати, так як в таких плівках можуть виникати короткі замикання. Було доведено, що розтягуючи напруги значно збільшують втрати конденсаторів на плівках SiO2
Якщо навіть механічні напруги знизити до рівнів, які піддають коректуванню, плівка має бути стабільною і по іншим параметрам. Зміна хімічного складу електродів і діелектрика не має здійснюватись за великий проміжок часу.
Технологія одержання плівок повинна забезпечити потрібну електричну стабільність, тобто в плівках не має бути стабільних місць, які можуть стати зонами провідності (наприклад, мікропори). Як уже було пригадано мікропори можна ліквідувати використанням тонких (<1500Å) електродів, з яких мікропори можна "виманити" приклавши до плвки високу напругу. Але не всі структури можна так обробляти, але у всякому випадку спочатку потрібно видалити мікропори. Знаючи це, можна скласти наступну класифікацію плівкового діелектрика задовільної якості. Він має задовольняти вимоги:
1. Висока механічна стійкість.
2. Висока хімічна стабільність.
3. По мірі можливості розумна товщина (>1000Å).
4. Мінімальне число дефектів і домішок.
5. Слаба чутливість до вологи.
6. Відсутність проколів або слабих місць.
7. Невелика здатність до фізичної зміни (старіння і температурн?