Курсовая работа: Проектирование высоковакуумной магистрали
Введение
1. Цель работы : закрепить знания, полученные при изучении дисциплины «Основы вакуумной техники», по проектированию и расчету откачной вакуумной системы технологического оборудования микроэлектроники. Студент должен рассчитать газовые потоки, правильно и обоснованно выбрать откачные средства, рассчитать проводимости соединительных трубопроводов, оценить совместимость откачных средств, определить фактическую быстроту откачки и перепады давления в трубопроводах, а так же на основании проведенных расчетов выбора типоразмеров откачных средств, затворов и вентилей, выполнить чертеж вакуумной системы (в эскизном исполнении).
1. Расчет высоковакуумной магистрали
1.1 Определение стационарного газового потока
,
где 
- поток газа, определяющийся технологическим выделением газа из нагреваемых элементов внутрикамерных устройств,
- натекание через уплотнения рабочей камеры,
- диффузное газовыделение,
- газовыделение от подложки.
,
,
, где 
- газовыделение рабочей камеры,
, [лит-ра 2, стр. 64–65]
- внутренняя поверхность камеры,
где 
- размеры рабочей камеры,
-размеры присоединительного фланца;
,
, где 
- удельное газовыделение материала (Cu) при
заданной температуре, [см. лит-ра 3, стр. 471, приложение]
,
- объем подложкодержателя,
- плотность меди,
, [см. лит-ра 4, стр. 115, табл38]
- время газовыделения;
.
Тогда стационарный газовый поток равен
.
1.2 Предварительный выбор высоковакуумного насоса
--> ЧИТАТЬ ПОЛНОСТЬЮ <--