Курсовая работа: Проектирование высоковакуумной магистрали

Проверим режим течения во фланце

давление во фланце:

.

Выражение – режим молекулярный.

Проводимость:

.

Сечение рабочей камеры

Сечение фланца

.

Давление в рабочей камере:

- режим молекулярный

Расчет общей проводимости высоковакуумной магистрали

Время откачки камеры высоковакуумным насосом до предельного давления в камере

где – объем рабочей камеры.

Действительные параметры откачки высоковакуумным насосом

– эффективная быстрота откачки,

– фактическое предельное давление в камере.

Оценка пригодности высоковакуумного насоса

Проводимость затвора

Выберем затвор ЗППл-63 ([2], стр. 109, табл. 7.1) с проходным диаметром и проводимостью .