Курсовая работа: Производственный процесс изготовления микросхем
2.3 Расчёт
1 Определение суммарного припуска на механическую обработку .
Расчётная формула:
Z = Zгр.шл. + Zт. шл . + Zпр.пол. + Zф.пол. (1)
где Z — суммарный припуск на механическую обработку;
Zгр.шл — припуск на грубую шлифовку;
Zт.шл — припуск на точную шлифовку;
Zпр.пол — припуск на предварительную полировку;
Zф.пол — припуск на финишную полировку.
Данные по припускам берем из таблицы 1:
Zгр.шл =25 мкм;
Zт.шл = 20 мкм;
Zпр.пол = 6 мкм;
Zф.пол = 5мкм.
Z = 25 + 20 + 9 + 5 = 59 мкм.
2 Определение исходной толщины заготовки.
Расчётная формула:
L = L+ Z(2)
где L=0.35мм,
Z =56 мкм — суммарный припуск на механическую обработку.
L = 0.35 + 0.059 = 0.409 мм.
3 Определение массы заготовки .
Расчётная формула:
m = ρ·L ·S(3)
где ρ = (2.3…3)·103 кг/м3 – плотность ситалла,
m = 3·103 · 60 · 48 · 0.409 · 10-9 = 0.0035 кг.
4 Определение массы платы.
m = ρ·L·S(4)
m = 3·103 ·24 ·30 · 0.35 · 10-9 = 7.5·10-4 кг.