Курсовая работа: Растровый электронный микроскоп
3. JEOL JSM-7000F относится к растровым электронным микроскопам с автоэмиссионным катодом
Новейший РЭМ JEOL JSM-7000F (рис. 11) позволяет получать изображения с очень высоким разрешением. Он оснащен многоцелевой камерой образцов со шлюзом для быстрой смены образцов, автоматическим моторизованным столиком и функионально наполненным программным обеспечением. При этом он имеет совершенную геометрию оптической колонны, обеспечивающую большой ток зонда (до 200 нА) при его минимальном диаметре, что делает этот прибор идеальным для работы с приставками EDS, WDS, EBSP и CL.
Основные характеристики:
· разрешение: 1,2 нм (при 30 кВ) и 3,0 нм (при 1 кВ)
· ускоряющее напряжение: от 0,5 до 2,9 кВ (с шагом 10 В), от 3 до 30 кВ с шагом (100 В)
· увеличение: от х10 до х500 000
Рисунок 11 – Растровый электронный микроскоп JSM-7000F
4. Серия JEOL JSM-6490/JSM-6490LV – это растровые электронные микроскопы с большой камерой образцов.
Новейшие приборы серии JSM-6490 (рис. 12) – надежные и неприхотливые растровые электронные микроскопы с гарантированным разрешением 3 нм. Модель JSM-6490LV оснащена системой низкого вакуума, позволяющей наблюдать водонасыщенные или непроводящие образцы без напыления. Эвцентрически?