Реферат: Конструирование изделий МЭ
1. Обладал высокой адгезией с подложкой.
2. Обеспечивал необходимую проводимость электрического тока.
3. Должен быть: химически инертным, стабильным.
Всеми перечисленными выше свойствами обладает золото с подслоем хрома (нихрома). Подслой хрома обеспечивает особо прочное соеденение с подложкой и последующими слоями, слой золота обеспечивает высокую проводимость, химическую инертность и стабильность. Технические характеристики данного материала следующие:
rS =0,05 Ом/ -удельное сопротивление квадрата пленки контактного соединения.
rГ =0,03 мОм/ - сопротивление на границе пленки контактного соединения и резистивной пленки.
Толщина слоев, мкм: 0,6-0,8
Материал подложки.
Конструктивной основой пленочной микросхемы является изоляционная подложка, которая существенно влияет на параметры пленочных элементов и на надежность микросхемы. Кроме того, подложка должна иметь хорошую адгезию и поляризуемость поверхности, а также малые неровности микрорельефа. Всеми этими свойствами обладает Ситалл СТ-50-1 со следующими характеристиками:
Температурный коэффициент линейного расширения: 50×10-7
Теплопроводность 3 Вт/(м×град)
Диэлектрическая проницаемость при 106 Гц и t=20°: 8,5
Температура размягчения °C: 620
Класс чистоты поверхности: 13
§3. Расчет топологии.
Пленочные элементы будем напылять методами тонкопленочной технологии. Выбор этого метода основан на том, что рассеиваемые на элементах мощности относительно невелики, кроме того метод обеспечивает хорошую точность изготовления пленочных элементов.
3.1. Выбор материала для напыления.
Определим оптимальное удельное поверхностное сопротивление материала по формуле:
Ом/™
По полученному значению выбираем материал РС-4400, который имеет следующие параметры:
rs =2000 Ом/™
P0 =10 Вт/см2
ТКС=30000 1/C°
3.2. Расчет коэффициентов формы для резисторов.
Расчет коэффициента формы, который определяет форму резистивного элемента, производим по формуле:
n=R/rs
n= R/rs = 0.5<1
3.3. Расчет резистора с коэффициентом формы, меньшим единицы.
 |
l minточн =0,033 см
 |
l minP =0,045 см
3.Определение расчетного значения ширины резисторов:
