Дипломная работа: Экспериментальное исследование параметров плазы емкостного высокочастотного разряда (ЕВЧР)
В трубке находится неон при давлении 0.1 мм рт. ст. Данную трубку использовали на методе зондов Ленгмюра при частоте 4 МГц.
Другая трубка содержит два электрода, расстояние между которыми 31 см, диаметр трубки 3,85 см. Для того, чтобы закачать воздух или аргон в трубку при необходимом давлении использовали неоновый завод Daco.
Рис. 7 Газоразрядная трубка с двумя электродами
Рис. 8 Схема неонового завода Daco
Рис. 9 Схема реального ВЧ генератора с согласующим элементом и разрядной нагрузкой
2.2 Методика измерений
Зависимость напряжения зажигания трубки от давления газа
Рис. 10 Принципиальная схема установки
Экспериментально полученные кривые Пашена для аргона при различных частотах:
| P*d, мм рт. ст.*мм | U, В |
| 77,5 | 720 |
| 167,7 | 257 |
| 275,9 | 550 |
| 288,9 | 600 |
| 310 | 688 |
| P*d, мм рт. ст.*мм | U, В |
| 155 | 550 |
| 311 | 228 |
| 508 | 600 |
| 553 | 713 |
| P*d, мм рт. ст.*мм | U, В |
| 194 | 2180 |
| 232,5 | 1760 |
| 387,5 | 170 |
| 536 | 1560 |
| 591 | 2200 |
Экспериментально полученные кривые Пашена для воздуха при различных частотах:
| P*d, мм рт. ст.*мм | U, В |
| 207 | 2200 |
| 232,5 | 1750 |
| 311 | 300 |
| 387,5 | 1800 |
| 405 | 2260 |
P*d, мм рт. ст.*мм | U, В |
| 137 | 1110 |
| 193 | 750 |
| 310 | 240 |
| 465 | 1200 |
| Р*d, мм рт. ст.*мм | U, В |
| 77,5 | 1710 |
| 108,5 | 1330 |
| 225 | 190 |
| 341 | 1400 |
| 370 | 1750 |
Зондовые характеристики емкостного высокочастотного разряда
В работе проводились также зондовые характеристики, позволяющие определить температуру электронов и концентрацию заряженных частиц. Для этого разрядная трубка включалась по схеме (11):
Достоинством метода является возможность проведения локальных измерений и сравнительная простота необходимого оборудования. К недостаткам можно отнести сложность теории и, как следствие, большую погрешность измерений и трудность ее оценки.
К зонду прикладывался отрицательный по отношению к аноду потенциал. С помощью вольтметра и микроамперметра поточечно снимается вольтамперная характеристика зонда. По графику определяется плавающий потенциал, отвечающий условию 
. В нашем случае он равен 8.8 В. На участке с 
ионный ток не вносит значительного вклада в суммарный ток на зонд. Эта часть вольтамперной характеристики строится в полулогарифмическом масштабе.
