Дипломная работа: Экспериментальное исследование параметров плазы емкостного высокочастотного разряда (ЕВЧР)
Рис. 13 Полулогарифмическая зондовая характеристика
Из (24) имеем
(26)
При наличии в плазме максвелловского распределения на полулогарифмическом графике обнаруживается линейный участок тангенс угла наклона этого участка, равен 
. Отсюда определяется электронная температура:
(27)
В знаменателе этой дроби стоит угловой коэффициент, определяемый следующим образом: на линейном участке логарифмической зондовой характеристики выбирается малый интервал 
и отвечающий ему интервал 
. Их отношение равно тангенсу угла наклона линейного участка кривой.
Формулу (27) можно переписать в виде
(28)
В (28) ток выражен в амперах, напряжение в вольтах, а температура в градусах Кельвина.
Найденная таким методом электронная температура в нашем эксперименте оказалась равна 16800 К.
Подвижность положительных ионов в неоне при давлении 0.1 мм рт. ст. 
Концентрация положительных ионов определялась по формуле:
, (29)
Где 
- ток на катод (в нашем случае 
), е – заряд электрона, 
- напряженность поля около катода, 
- подвижность положительных ионов.
Отсюда находим концентрацию: 
| Параметр | Значение |
| Напряжение зажигания аргона при частотах (1 МГц, 2 МГц, 4 МГц), В | 250 – 750; 220 – 720; 150 – 2300 |
| Напряжение зажигания воздуха при частотах (1 МГц, 2 МГц, 4 МГц), В | 300 – 2300; 225 – 725; 180 – 1800 |
| Напряжение потухания аргона при частотах (1 МГц, 2 МГц, 4 МГц), В | 200 – 700; 150 – 600; 100 – 500 |
| Напряжение потухания воздуха при частотах (1 МГц, 2 МГц, 4 МГц), В | 200 – 1500; 150 – 500; 100 – 1000 |