Курсовая работа: Методи приєднання виводів

Частота ультразвукових коливань при зварці контактної тяганини з плівкою мікросхеми не вище 50 кгц. Амплітуда коливань голки складає не більше декількох мікрон, щоб не зруйнувати плівку контактного майданчика. Проте для цього потрібно ретельно підтримувати вибраний режим, що у виробничих умовах скрутно. Ультразвукову зварку найчастіше застосовують в лабораторних умовах. [4]

Ультразвукова зварка придатна для м'яких і пластичних металів: золото, алюмінію і мідно-марганцевого сплаву, але не для нихрома і танталу.

Основна трудність ультразвукової зварки полягає в регулюванні тиску, що притискує голку до контактного майданчика. Надмірний тиск роздавлює зволікання виводу або викликає стирання плівки. Малий тиск не приводить до зварки. Тому зручно використовувати для точного регулювання тиску пневматичну систему.

Дефекти з'єднань при термокомпрессионной, контактній і ультразвуковій зварці можна розділити на три групи:

1) хімічне руйнування із-за неправильно вибраної пари металів виводу і контактного майданчика;

2) розтріскування металевої плівки при переході на потовщений контактний майданчик з подальшим перегоранням із-за перегріву в цьому місці при протіканні струму під час експлуатації мікросхеми;

3) попадання забруднень в зону контакту і фіксація їх там, що з часом приводить до місцевих перегрівів і руйнування контактного шва.

Для контактного майданчика кремнієвою ІС переважно алюмінієва плівка, чим золота, оскільки алюміній в контактній зоні під час осадження відбирає кисень від кремнію на себе, що забезпечує отримання хорошого омічного контакту. Із золотом це не відбувається. Крім того, золото має погану адгезію до кремнію, що вимагає введення прошарку з іншого металу. Це небезпечно з точки зору можливого розвитку корозійних процесів. Нарешті, золото має дуже високу міграційну рухливість.

Встановлена можливість вживання вольфраму для контактних майданчиків на кремнієвих і скляних підкладках. Вольфрамовий контактний майданчик має приблизно такий же електричний опір, як і алюмінієва, оскільки отриманий методом вакуумного осадження вольфрам має вищу щільність, ніж алюміній. Поважно, що термічне розширення вольфраму близьке до кремнію і до скла, але головна перевага – в його хімічній стійкості. [7]

Для успішного отримання низкоомных контактів до напівпровідникової підкладки необхідно, щоб:

1) область контакту напівпровідника мала низький питомий опір (менше 1 ом·см);

2) напівпровідник нагрівався до температури приблизно на 20° З менше температури евтектики сплавів дроту і напівпровідника;

3) до контакту додавався тиск 10 кг/мм2.

Бажано, щоб місце зварки було захищене атмосферою інертного газу для попередження окислення або забруднення.

Нізкоомниє контактні майданчики на кремнієвій підкладці можуть бути отримані або за допомогою неглибокої дифузії (для отримання високої концентрації домішок на поверхні), або за допомогою мікросплаву з поверхнею тонких алюмінієвих і золотих плівок.

Можна використовувати обидва методи одночасно. Матеріали мають бути вибрані з таким розрахунком, щоб усунути отримання випрямляючого контакту, для чого корисно застосовувати золото, леговане домішками n, - або р-типу.

При виборі матеріалу зволікання і контактного майданчика слід брати до уваги небезпеку появи «пурпурної чуми», що виникає при зварці золота з алюмінієм. Пурпурна чума є пористими интерметаллические з'єднаннями типа Аuхаlу, збагаченими або алюмінієм (AuAl_y ), або золотом (Au₂ Al) і що виникають при безпосередньому контакті алюмінію і золота. Вона видно зовні у вигляді облямівки довкола контактної зони і утворюється в результаті дифузії золота, яка протікає повільно при кімнатній температурі і швидко, коли метали нагріті. Збагачене алюмінієм міцне з'єднання АuAl₂ яскраво пурпурного кольору, по фізичних властивостях нагадує метал з хорошою електропровідністю, утворюється тільки у відсутності кремнію у складі підкладки. З'єднання AuAl і збагачені золотом з'єднання Au₂ Al Au₄ Al сріблястий-блакитного і жовтого кольору, пористі і крихкі, з поганою електропровідністю, швидко утворюються в каталітичній присутності кремнію. За участю кремнію виходять майже чорні пористі з'єднання Au_x Al_y Si_z . [1]

Зазвичай вся поверхня кремнієвої підкладки мікросхеми покрита шаром окислу кремнію. Проте в тих випадках, коли окисний шар нанесений недоброякісно, біля контактних майданчиків може бути присутнім вільний кремній. Крім того, оскільки Аl₂ O₃ стабільніший окисел, ніж SiO₂ (теплота утворення Аl₂ O₃ значно вища, ніж SiO₂ ), алюміній відновлює окисел кремнію, вивільняючи кремній, який взаємодіє із золотом і алюмінієм.

Швидкість утворення цих інтерметалічних з'єднань збільшується з температурою по експоненціальному закону.

Утворення інтерметалічного з'єднання між золотим дротом і алюмінієвим контактним майданчиком викликає появу в цій зоні механічної напруги і мікротріщин.

Поверхня розділу металів служить тим шляхом, по якому відбувається міграція золота від країв интерметаллического зварного контакту в сусідні ділянки алюмінієвої плівки. Серія фотографій, зроблених через певні інтервали часу, показує, як золото проникає в алюмінієві смужки. Під час міграції золота його кількість довкола контактної зони поступово зменшується, внаслідок чого кінець виводу по всьому периметру контактного шва відключається від провідної смужки, а через деякий час зовсім відділяється від мікросхеми.

Якщо вивід електрично відключився від провідної смужки, але ще не відокремився від підкладки, дефект дуже важко виявити. Інколи досить подати на таке напівзруйноване з'єднання імпульс напруги, наприклад, при випробуванні, щоб воно тимчасово відновилося.

Знайдені засоби запобігання масовим відмовам таких з'єднань. Якщо до приєднання дротяних провідників алюміній окислювати, інтенсивність відмов з'єднань зменшиться, оскільки шар оксиду перешкоджає міграції.

Нанесення шаруючи з третього металу на поверхню алюмінію також дає можливість запобігти міграції [3].

Таблиця 1.2. Зварність матеріалів при різних методах мікрозварки [5].

Матеріал контактного майданчика і підкладки	Методи зварки і матеріали дротяних виводів
	Термокомпресія			Зварювання тиском з непрямим імпульсним нагрівом			« 1 2 3 4 5 6 7 8 9 » К-во Просмотров: 372 Бесплатно скачать Курсовая работа: Методи приєднання виводів >>> Скачать <<< Меню Поиск