Отчет по практике: Технологические процессы микросборки плат
2. Развакуумировать камеру
3. Загрузить испарители навесками напыляемых материалов.
Хром – 0,5 г. Допускается сплав МТЛ-30 – 0,5 г. Медь – 8,0 г.(в два испарителя по 4,0 г.)
4. Установить «свидетель» и проверить сопротивление в цепи «свидетеля»
5. Проверить работу заслонок
6. Закрепить подложки в подложкодержателях лицевой стороной к верху и установить их на карусель установки
Создать вакуум в рабочей камере (остаточное давление не более 5х10-5)
Включить привод вращения карусели (скорость вращения – 15 об/мин)
Прогреть подложки и выдержать при заданной температуре.
Температура 300º±10ºС, выдержать 15±5 минут
10. Подать ток на первый испаритель меди и прогреть навеску до её полного расплавления. Ток – 300-400 А (при закрытой заслонке)
Повторить переход 10 для второго испарителя меди
Подать ток на испаритель хрома и прогреть навеску.
Ток – 300-400 А, время прогрева 8-10 секунд (при закрытой заслонке)
13. Открыть заслонку и произвести напыление плёнки хрома.
Ток – 300 – 400 А, удельное сопротивление контрольного образца Ом/□ «свидетеля» задаётся технологом после пробного цикла напыления
Закрыть заслонку и прекратить подачу тока на испаритель
Подать ток на первый испаритель меди. Ток – 300 – 480 А
Открыть заслонку и произвести напыление меди до полного испарения навески. Момент полного испарения фиксируется по резкому падению тока.
Примечание. Интервал времени между напылениями хрома и меди не должен превышать 1 – 1,5 минуты
Закрыть заслонку и прекратить подачу тока на первый испаритель меди
Повторить переходы 15-17 для второго испарителя меди
Прекратить подачу тока на нагреватель подложек и охладить подложки до температуры 80º±5ºС
Выключить привод вращения карусели
Развакуумировать камеру карусели
Загрузить испарители навесками для напыления обратных сторон
Хром – 0,5 г., меди – 18,0 г. (в два испарителя по 9,0 г.)
С помощью специального механизма перевернуть подложки в подлоржкодержателях
Создать вакуум в рабочей камере