Реферат: Методика измерения перемещений при помощи лазерных интерферометров

Расстояние от нуля интерферометра О до измерительного отра-

жателя 4:

(2)

где P - порядок интерференции, f - фаза интерференционного сигна-

ла I, определяемого формулой (1).

2 Описание принципа работы и оптических схем интерферометров со

счетом полос.

Метод счета полос заключается в измерении (счете) числа пе-

риодов изменения интерференционного сигнала при изменении ГРХ.

Для предотвращения ложного счета вследствие механических вибраций

и турбулентности воздуха осуществляют реверсивный счет, при кото-

ром определяют знак каждого счетного периода приращения порядка

интерференции.

Применяют два способа реверсивного счета полос.

2.1 Интерферометр со счетом полос на основе квадратурных сигналов

Квадратурными называют два сигнала, содержащие информацию об

одной и той же ГРХ, но сдвинутые по фазе на p/2:

I₁ (t)=I1₀ +I1_~ *COS[f(t)] ,

(3)

I₂ (t)=I2₀ +I2_~ *SIN[f(t)] .

Фиксируя пересечения сигналами (3) среднего уровня (рис. 2б),

измеряют приращения ГРХ c дискретой l/4. Знак каждой дискреты оп-

ределяют по фазовому сдвигу между сигналами, который в зависимости от направления изменения ГРХ равен p/2 или 3p /2.

На рис. 2а изображена схема ЛИС, где квадратурные сигналы

получают оптическим способом. Плоскость поляризации излучения од-

ночастотного лазера 1 составляет угол 45⁰ с плоскостью чертежа.

Фазовая пластина l/8 - позиция 3, одна из собственных осей кото-

рой лежит в плоскости чертежа, вносит в интерферометр, образован-