Реферат: Методика измерения перемещений при помощи лазерных интерферометров

подсчитывают число биений каждого из них N0 и N1 и отслежи-

вают разность DN=N1-N0 (рис. 3в). Если ГРХ в интерферометре не

меняется, частоты опорного и измерительного сигналов равны

f₀ =f₁ =u1-u2, и DN=0. При движении отражателя 4 частота биения

измерительного сигнала становится равной f₁ =u1-u2+Du, где

Du=Df(t) /Dt. Изменение ГРХ равно 2DL=DN*l=(N1-N0)*l.

Знак при Dn зависит от направления движения отражателя 4.

Связь между знаками DL и Du остается однозначной до тех пор, пока

[Du]<[u1-u2]. Чтобы исключить влияние низкочастотных шумов на ра-

боту ЛИС, обеспечивают ¦Du¦<[u1-u3]+u_ш , где u_ш - верхняя гранич-

ная частота шумов. Таким образом, в ЛИС со счетом полос на основе

частотной модуляции имеет место принципиальное ограничение ско-

рости изменения измеряемых расстояний. В современных ЛИС она не

превышает 1 м/с.

При счете числа биений сигналов дискрета измерения при-

ращений ГРХ равна l. Для повышения точности измерения уменьшают

дискрету счета, умножая частоты этих сигналов в электронной сис-

теме. Чаще всего обеспечивают дискрету l/64 .

Метод счета полос на основе частотной модуляции, также как и

на основе квадратурных интерференционных сигналов, не ограничива-

ет максимальное значение измеряемых расстояниий, которые в из-

вестных ЛИС достигают 100 м.

ЛИС со счетом полос применяют для измерения больших расстоя-

ний и быстрых линейных перемещений с интерференционной точностью.

Благодаря достигнутому уровню технических характеристик и высокой

надежности они находят широкое применение в метрологии (аттеста-

ция станков и технологического оборудования, поверка вновь разра-

батываемых интрументов измерения расстояний и т.д.). Очень перс-

пективная область их применения - преобразователи линейных пере-