Реферат: Поверхневі напівпровідникові хвилі в напівпровідникових структурах

Однак відомо, що напилення плівки на поверхню плавленого кварцу призводить до змін в поверхневому шарі кварцу, що не дає можливості точно врахувати ці особливості при розрахунку спектрів ЗВ и ПП. Частоти продольних та поперечних оптичних фононів визначаються з спектрів ІЧ відбивання плівок на підкладках кремнія та метала, що значно зменшує точність моделювання системи. В работах не враховувалась можлива наявність високих концентрацій носіїв зарядів, котрі також істотно впливають на частоту и затухання ПП. Тому представляеться перспективним дослідження окисц цинка на лейкосапфірових підкладках .

Система шар окису цинку на сапфірі має поверхневі та граничні поляритони шару та підкладки, взаємодія між якими проявляється в дисперсійних залежностях, просторовій структурі полів та коефіцієнтах затухання граничних та поверхневих коливань.

Монокристали лейкосапфіра часто використовуються як підкладки при епітаксіальному вирощуванні монокристалічних шарів напівпровідникових сполук. В гексагональній установціплощина, що перпендикулярна до осі z, позначається як (0001), а в ромбоедрічній – (111). З можливої різноманітності орієнтацій сапфіра для эпитаксиального нарощування перевагу віддають орієнтаціям з щільно упакованими площинами (0001),, на яких отримуються шари з високою рухливістю носіїв зарядів.

Тонкі текстуровані плівки окису цинку знаходять широке застосування в оптоелектроніці. Варіюючи умови їх синтезу, використовіуючи отжиг та легування, можна отримати плівки з питомим опором від 10^-4 до 10¹¹ Om.cm. Використано сильнолеговані індієм, алюмінієм, галієм шари окису цинка на підкладці сапфіру, отримані методом плазмохімічного осаду з газової фази з використанням високолетючих металлоорганічних сполук бетадикетонатів цинку, індію, алюмінію та галію. Вказаний метод дозволив знизити температуру нагріву підкладки до 100-150⁰ С в порівнянні з температурами 350-450⁰ С при використовуванні методу термічного рокладу. Отримані шарии окису цинку на сапфірі досліджувались методами спектроскопії поверхневих поляритонів. Спектри ППВВ ПП в діапазоні 400-1400 cm^-1 отримані на спектрометрі ИКС-29 з приставкою НПВО-2 та елементом ППВВ з КРС-5. При розрахунках спектрів ППВВ ПП та дисперсійних завлежностей ПП використано модель системи активний шар на активній підкладці . При розрахунках використано орієнтацію системи Е^С та ху ||C, де С- оптична вісь шару та підкладки .

Система ZnO/Al₂ O₃ дозволяє отримати богатий спектр дисперсійних залежностей поверхневих поляритонів. Шар окису цинку товщиною d =10 mm проявляє в спектрі ППВВ один мінімум на частоті 528 cm^-1 при куті падіння світла в елементі ППВВ 33⁰ , що практично співпадає з частотою ПП напівнескінченного монокристала окису цинку. Приd =0.5mm спектр ПП шару розщіплюєтьсяна два с мінімуми на частотах 480 и 573 cm^-1 . При товщині шару 0.1 mm проявляється п`ять мінімумів на частотах 386, 422, 479, 586, 629 cm^-1 .При частоті плазмонів =319 cm^-1 і коефіцієнті затухання плазмонів =480 cm^-1 зміни в спектрах ПП проявляються тільки в області частот 386 та 629 cm^-1 , при цьому спектр біля частоти 629 cm^-1 дещо розширюється.

Проведено дослідження поверхневих поляритонів (ПП) системи шар ZnO на сапфірі. Вивчено поверхневі фононні та плазмон-фононні поляритони (ПФП и ППФП) тонких шарів окису цинку в залежності від товщины шару та концентрації носіїв зарядів в шарі. При товщинах шару порядку 0.01-6 mm дисперсійна залежність поверхневих поляритонів має високочастотну та низькочастотну гілки. Високочастотна гілка фононних ПП системи проявляється в спектрах ППВВ ПП в діапазоні частот 571-600 сm^-1 , а низькочастотна - в діапазоні 443-483 сm^-1 . При зменшенні товщини шару окису цинку від 1 mm до 0.01 mm граничні частоти низькочастотної гілки зміщуються в область менших частот на 7 сm^-1 , а граничні частоти високочастотної моди збільшуються на 0.2 сm^-1 . Досліджено також вплив шарівв окису цинку різної товщини на дисперсійну залежність сапфіра. Збільшення товщини шару окису цинку призводить до зменьшення граничної частоти поверхнневих фононих поляритонів сапфіру. Спектри ППВВ та дисперсійні залежності ПФП та ППФП системи істотно залежать від орієнтації шарів та підкладки. Представляється можливим використати отримані результати при дослідженні оптичних властивостей поверхності та границь розподілу діелектрик-напівпровідник.

6. Висновки.

Одним з перспективних напрямків сучасної фізики є дослідження поверхні твердого тіла та взаємодії поверхневих електромагнітних хвиль інфрачервоного діапазону з поверхнею та тонкими шарами напівпровідників .

При взаємодії світлової хвилі з поверхнею твердого тіла виникає поверхнева електромагнітна хвиля.Квазічастинки, які відповідають ц