Реферат: Изучение поверхности полупроводника с помощью сканирующего электронного микроскопа

Дипломна робота: 43 сторінок, 12 малюнків, 1 таблиця, 6 джерел.

Об`єктом дослідження є поверхня металевих та напівпровідникових матеріалів за допомогою скануючого електронного мікроскопа.

Методикою досліджень являється реєстрація вторинних електронів та фотонів.

Результати досліджень можуть бути застосовані працівниками, які займаються дослідженнями в області напівпровідникових матеріалів.

RESUME

The graduation research “Using the Scanning Electron Microscopy for diagnostics of a surface of semiconductors ” – 2003, student Lyashenko O.A. (DNU, physical faculty, gr. FP-98-1, department of optoelectronics) leader Klimenko V.V.

The work is interesting for researchs the semiconductor researches.

Bibliography pages 43, Tables 1, Images 12.

Тема:

Изучение поверхности полупроводника с помощью сканирующего электронного микроскопа

Зміст.

Реферат 4

Resume 5

Вступ. 7

Розділ І. Літературний огляд 8

1. Одержання і керування потоком електронів 8

2. Електростатичні лінзи 10

3. Магнітні лінзи 14

4. Електронно-оптичні дослідження матеріалів 15

5. Звичайний просвітлюючий електронний мікроскоп 16

5.1 Електронна оптика 16

5.2 Зображення 18

5.3 Дозволяюча здатність 19

6. Растровий електронний мікроскоп. Загальні відомості 21

7. Растровий електронний мікроскоп. Технічні відомості 23

7.1 Застосування 23

7.2 Принцип дії 23

Розділ ІІ. Постановка задачі 26

Розділ ІІІ. Експериментальна частина 27

Висновки 31

--> ЧИТАТЬ ПОЛНОСТЬЮ <--