Реферат: Изучение поверхности полупроводника с помощью сканирующего электронного микроскопа

3. кремнієва пластина з олов’яними електродами розташованими один від одного на відстані 3 мм.

Проведено дослідження поверхні зразків. Зразок (1) було досліджено за допомогою двох схем (мал.7,8), зразки (2) і (3) тільки за допомогою схеми, що реєструє електрони (мал. 7).

Отримані результати зображені на мал. 9, 10, 11, 12.

Мал.9. металева сітка з розміром клітини а = 0.25 мм. Досліджувана за допомогою циліндра Фарадея.


Мал.10. металева сітка з розміром клітини а = 0.25 мм. Досліджувана за допомогою фотодіода.


???. 11. ????????? ???????? ? ?????????? ?????????? ??????????? ~0.5 ??. ???????????? ?? ????????? ???????? ???????.


Мал. 12. кремнієва пластина з олов’яними електродами розташованими один від одного на відстані 3 мм. Досліджувана за допомогою циліндра Фарадея.

Висновки.

1. Проведений літературний пошук показав, що скануюча мікроскопія має переваги перед просвітлюючою:

а) методи створення дифракційних картин у РЕМ досить прості і дають велику інформацію про кристалічну будову і досконалість зразків.

б) можливість дослідження масивних зразків.

в) можливість дослідження внутрішньої будови зразків.

г) можливість виводу на екран комп’ютера.

д) велика кількість способів досліджень зразків.

е) простий в експлуатації.

  1. Принципіально показано:

а) можливість діагностики поверхні металевих та напівпровідникових зразків за допомогою реєстрації вторинних електронів циліндром Фарадея.

б) можливість діагностики поверхні матеріалів, що добре люмінісцюють.

  1. Можливість використання даної установки для дослідження поверхні напівпровідників.

РОЗДІЛ ІV. ОХОРОНА ПРАЦІ

1. ЗАХОДИ ЕЛЕКТРОБЕЗПЕКИ ТА ПОЖЕЖОБЕЗПЕКИ ПРИ РОБОТІ З ЕЛЕКТРОННИМ МІКРОСКОПОМ

1.1 Забезпечення безпеки при роботі на електроустановках.

Одним із найбільш важливих напрямків забезпечення охорони праці при проведенні експериментальних досліджень є забезпечення безпеки при роботі на електроустановках.

Статистика показує, що кількість травм, викликаних електричним струмом, становить 2% від їх загальної кількості. Але з усіх нещасних випадків, які завершилися летально, найбільша кількість припадає на враження електричним струмом. Причому до 80% усіх випадків електротравматизму зі смертельним кінцем приходиться на електроустановки з напругою до 1000 В (110 В і 380 В). Лабораторні електроустановки працюють саме у такому діапазоні напруг.

Електротравмою називають враження тканин і органів електричним струмом: обпіки, електричні знаки (мітки, електрометалізація шкіри, електроофтальмія та механічні враження).

Базуючись на аналізи нещасних випадків та довгого досліду експлуатації електроустановок розрізняють наступні фактори, від яких залежить в основному кінець враження електричним струмом:

1. Значення електричного струму. Це головний вражаючий фактор при електротравмах. Виділяють наступні порогові значення струму:

- поріг відчуття струму (0.5-1.5 мА змінного струму, 5-7 мА

постійного струму);

- поріг невідпускаючого струму (10-15 мА змінного струму,

50-80 мА постійного струму);

- смертельний струм (100 мА та більше).

2. Рід та частота струму. Відомо, що змінний струм частотою 50-60 Гц більш небезпечний, ніж постійний. Однак при напрузі U>300 В небезпека постійного струму зростає. Небезпека дії змінного струму знижується з ростом частоти та стає практично непомітною при частоті 1000-2000 Гц, повністю зникає при 450-500 кГц (залишається небезпека обпіків).

3. Опір тіла людини. Це змінна величина, що має нелінійну залежність від багатьох факторів, у тому числі, від стану шкіри, параметрів електричного ланцюга, фізіологічних показників та стану навколишнього середовища. Величиною опору людини вважають 1000 Ом. Це значення спостерігається при невідпускаючих струмах. При відсутності струму опір тіла людини 2000-2500 Ом, при смертельному струмі знижується до 700 Ом.

Залежність опору тіла людини від прикладеної напруги

Струм через людину, мА

1

К-во Просмотров: 562
Бесплатно скачать Реферат: Изучение поверхности полупроводника с помощью сканирующего электронного микроскопа