Реферат: Монокристаллический кремень

системы продувки и вакуумной системы.

4.Блок управления,в который входят микропроцессор,датчики и устройства вывода.

Тигель является наиболее важным элементом

ростовой системы.Так как тигель содержит расплав,его материал должен быть химически инертен по отношению к расплавленному кремнию.

Это основное требование при выборе материала

тигля,так как электрические свойства кремния чувствительны даже к таким уровням примеси,

как 10(-7)ат.%.Кроме того,материал тигля должен

иметь высокую температуру плавления,обладать

термической стабильностью и прочностью.

Также он должен быть недорогим или обладать способностью к многократному использованию.

К сожалению,расплавленный кремний растворяет

почти все используемые материалы (например

карбиды тугоплавких металлов TiC или TaC,тем

самым способствуя слишком высокому уровню

металлических примесей в растущем монокристалле.Тигли из карбида кремния также

неприемлимы.Несмотря на то что углерод

являеться электрически нейтральной примесью в

кремнии,вырастить высококачественные монокристаллы кремния из расплавов,насыщенных

углеродом,не удаеться.

Отношение диаметра тигля к его высоте в больших

установках =1 или немного превышает это значение

Обычно диаметр тигля равен 25,30 или 35 см.для

объема загрузки 12,20 и 30 кг. соответственно.

Толщина стенок тигля равна 0.25см,однако кварц

недостаточно тверд,чтобы использовать его в качестве контейнера для механической поддержки расплава.После охлаждения несоответствие термических коэффициентов линейного расширения

между оставшимися в тигле кремнием и кварцом

приводит к растрескиванию тигля.

Возможность использования нитрида кремния в ка-

честве материала для тиглей была продемонстрирована при осаждении нитрида из