Реферат: Монокристаллический кремень
поэтому держатель затравки и механизм вытягивания должны постоянно удерживать его
перпендикулярно поверхности расплава.
Направляющие винты часто используються для
подъема и вращения слитка. Этот метод позво-
ляет безошибочно центрировать кристалл отно-
сительно тигля , однако при выращивании слитков
большой длины может оказаться необходимой
слишком большая высота установки.Поэтому,
когда поддержание необходимой точности при вы-
ращивании длинных слитков не обеспечиваеться
винтовым устройством,приходиться применять многожильные тросы.В этом случае центровка
положения монокристалла и тигля затруднена.
Более того,в процессе наматывания троса возможно
возникновение маятникого эффекта.Тем не менее
применение тросов обеспечивает плавное вытя-
гивание слитка из расплавава , а при условии их
наматывания на барабан высота установок значительно уменьшаеться. Кристалл выходит из
высокотемпературной зоны через систему продувки
,где газовый поток-в случае если выращивание про-
изводиться в газовой атмосфере-движеться вдоль
поверхности слитка,приводя к его охлаждению.
Из системы продувки слиток попадает в верхнюю
камеру,которая обычно отделена от высокотемпературной зоны изолирующим клапаном.
Устройство для управления составом атмосферы.
Рост монокристалла по методу Чохральского должен
проводиться в инертной среде или вакууме,что вызвано следующими причинами:
1) Нагретые графитовые узлы должны быть
защищены от воздействия кислорода для
предотвращения эррозии;