Реферат: Монокристаллический кремень

Контейнер используеться для поддержки кварце-

вого тигля .В качестве материала для контейнера

служит графит,поскольку он обладает хорошими

высокотемпературными свойствами.Обычно используют сверхчистый графит.Высокая степень чистоты необходима для предотвращения загрязнения кристалла,примесями,которые выделяються из графита при высоких температурах процесса .Контейнер устанавливают

на пьедестал,вал которого соединен с двигателем,

обеспечивающим вращение.Все устройство можно

поднимать или опускать для поддержания уровня

расплава в одной фиксированной точке,что необходимо для автоматического контроля диаметра растущего слитка.

Камера высокотемпературного узла установки

должна соответствовать определенным требованиям.Прежде всего она должна обеспечивать

легкий доступ к деталям узла для облегчения

загрузки и очистки.Высокотемпературный узел

должен быть тщательно герметизирован,дабы

предотвратить загрязнение системы из атмосферы

Кроме того,должны быть предусмотрены специальные устройства,предотвращяющие нагрев

любого узла камеры до температуры,при которой

давление паров ее материала может привести к загрязнению кристалла.Как правило,наиболее сильно

нагреваемые детали камеры имеют водяное охлаждение,а между нагревателем и стенками камеры устанавливают тепловые экраны.

Для расплавления материала загрузки используют главным образом высокочастотный индукционный или резистивный нагрев.Индукционный нагрев применяют при малом объеме загрузки,а резистивный-исключительно в больших ростовых

установках.Резистивные нагреватели при уровне мощности порядка нескольких десятков киловатт

обычно меньше по размеру,дешевле,легче в изготовлении и более эффективны.Они представляют собой графитовый нагреватель

,соединенный с источником постоянного напряжения.

Механизм вытягивания кристалла.

Механизм вытягивания кристалла должен с минима-

льной вибрацией и высокой точностью обеспечить

реализацию двух параметров процесса роста:

-скорости вытягивания;

-скорости вращения кристалла.

Затравочный кристалл изготавливаеться с точной