Реферат: Схемотехническое и функциональное проектирование вакуумной коммутационной аппаратуры

ления и парциального состава газовой смеси на параметры и свойства

изделий [1, 19, 40], т.е. к использованию высоко- и сверхвысокова-

куумного оборудования, требующего прогрева до 700 - 800 К и, сле-

довательно, применения цельнометаллической ВКА, позволяющей сокра-

тить время достижения сверхвысокого вакуума в 2,5 раза и упростить

обслуживание установок [25, 41]. С учетом отмеченного во введении

критического состояния проектирования цельнометаллической ВКА це-

лесообразно выделить для детального рассмотрения области ее приме-

нения, которые показаны на рис. I.2.

При этом, несмотря на достаточно четкую границу между группа-

ми оборудования с одинаковыми вакуумными характеристиками и усло-

виями эксплуатации, определяющими основные свойства ВКА, к ней

предъявляется множество разнообразных дополнительных требований,

зависящих от конкретного случая использования, что ведет к увели-

чению номенклатуры ВКА, затрудняя проведение унификации и стандар-

тизации вакуумного оборудования и повышая трудоемкость его проек-

тирования и изготовления.

Анализ длительности технологических циклов и ресурса работы

оборудования, проведенный по работам [19, 20, 24, 47, 48], позво-

- 14 -

ляет судить о требуемом ресурсе и цикличности работы ВКА и показы-

вает, что число циклов работы клапанов и затворов лежит в пределах

500 - 8000, а в ряде установок, имеющих длительность технологи-

ческого процесса порядка десятков секунд (например, электронно-лу-

чевых установок микросварки), их ресурс должен быть значительно

большим - 20000 - 50000. Кроме того, особенностью ВКА является

кратковременный циклический режим работы с большими промежутками

между включениями: отношение времени работы к времени выстоя очень

различно и в среднем находится в пределах 1 : (100 - 10000). Сум-