Реферат: Схемотехническое и функциональное проектирование вакуумной коммутационной аппаратуры

замены уплотнительной пары составляет для ВКА с металлическим уп-

лотнителем в среднем примерно 2 - 4 часа, для ВКА с резиновым уп-

лотнением - 20 - 50 часов.

Снижение рабочего вакуума накладывает дополнительные ограни-

чения на разработку ВКА, связанные с необходимостью уменьшения

влияния элементов вакуумной полости ВКА на параметры технологи-

ческого процесса и учета привносимой дефектности [50, 51]. При

этом ряд ответственных сверхвысоковакуумных систем, взамен большо-

го ресурса работы ВКА выдвигает на первый план требования к быст-

родействию и высокой надежности ее работы [37, 39].

Таким образом, анализ назначения ВКА в свете задач, решаемых

современным вакуумным оборудованием, позволил сформировать следую-

щие основные требования, предъявляемые к ВКА.

ВКА должна:

иметь заданную проводимость в открытом положении; обеспечивать

требуемое быстродействие; гарантировать величину натекания в за-

крытом положении ВКА не выше допустимой (например, соизмеримой с

уровнем газопроницаемости конструкционных материалов и материала

уплотнителя); допускать эксплуатацию в диапазоне температур от 77

до 800 К; минимально воздействовать на качественный и количествен-

- 15 -

ный состав остаточной среды в вакуумной системе; иметь достаточные

ресурс работы и наработку на отказ; предусматривать возможность

автоматического управления и контроля за работой; обладать мини-

мальными габаритами и весом; обеспечивать простой монтаж и де-

монтаж устройства; иметь высокие технолого-экономические показа-

тели.

I.2. Функционально-структурный анализ ВКА.

Несмотря на все возрастающую потребность в ВКА, имеющаяся по