Реферат: Схемотехническое и функциональное проектирование вакуумной коммутационной аппаратуры

Используемое в электронной технике вакуумное технологическое

и научное оборудование, интервалы рабочих давлений основных типов

которого приведены на рис. I.I., по величине рабочего давления

можно условно разделить на три группы: 1) установки с рабочим дав-

лением до 5 10 Па; 2) установки с рабочим давлением до 1

10 Па; 3) оборудование с рабочим вакуумом выше 1 10 Па.

Как правило, получение вакуума в оборудовании первой группы

достигается применением паромасляных диффузионных насосов с ловуш-

ками, позволяющими исключить наличие углеводородных соединений в

рабочей среде; герметизация разъемных соединений осуществляется

резиновыми прокладками [I - 5]. Подобные установки относятся к

непрогреваемым системам, длительность откачки которых определя-

ется, в основном, десорбцией паров воды [6 - 8]. Дополнительными

требованиями к установкам данного типа могут служить необходимость

получения определенного спектра остаточных газов [9, 10], исключе-

ние привносимой дефектности на изделие электронной техники [11 -

15], высокая (до 1600 К) температура в рабочей камере и повышенные

- 11 -

требования к надежности работы из-за значительного экономического

ущерба в случае отказа [16 - 18].

Оборудование второй группы [19 - 24] обеспечивает получение

более низких парциальных давлений остаточных газов. В данной груп-

пе оборудования, в основном, используют безмасляные (турбомолеку-

лярные, магнито- и электро-разрядные насосы) и комбинированные

средства откачки [25 - 27]. В качестве уплотнений разъемных соеди-

нений применяются металлические прокладки и прокладки, изготовлен-

ные из термостойкой резины [28, 29]. Как правило, установки второй

группы прогреваются до 400 - 650 К (оборудование для откачки

электровакуумных приборов частично до 950 К), имеют достаточно