Реферат: Схемотехническое и функциональное проектирование вакуумной коммутационной аппаратуры

30 - 33] и более жесткие требования к привносимой на изделие де-

фектности [34].

К третьей группе оборудования принадлежат уникальные системы-

ускорители заряженных частиц [35 - 38], камеры для космических

исследований и ряд технологических установок и научных приборов

[39, 40]. Их отличие от вакуумных систем второй группы состоит в

необходимости предварительной обработки и очистки материалов для

вакуумных систем, длительном времени прогрева и откачки, использо-

вании только металлических уплотнителей в разъемных соединениях.

При этом время существования высокого вакуума в рабочем объеме мо-

жет длиться месяцами и годами [29, 41 - 43].

Общим требованием ко всем группам вакуумного оборудования яв-

ляется автоматизация технологических процессов и научного экспери-

мента [44 - 46].

В свою очередь, требования к вакуумному оборудованию формиру-

ют требования к его элементной базе, в том числе к ВКА, которая,

являясь неотъемлемой частью ВС вакуумного оборудования (например,

только в одно- и двухкамерных установках число коммутационных уст-

- 12 -

ройств колеблется от 5 до 10, достигая 15 [20, 47]), во многом оп-

ределяет его выходные характеристики. Так, производительность обо-

рудования первой и второй групп определяется не только его

конструкцией (однопозиционные установки периодического действия,

установки полунепрерывного действия со шлюзовыми камерами, уста-

новки и линии непрерывного действия и др.), но и сокращением вре-

мени достижения рабочего давления, зависящим, в частности, от про-

водимости ВКА [48, 49].

Следует отметить и наметившуюся в последнее время в произ-

водстве изделий электронной техники тенденцию к понижению рабочего