Реферат: Жидкостное химическое травление
Рис. 15. Зависимость угла травления поликремния Q от содержания воды в травителе KOH/спирт/Н2 О.
Эффективность сглаживания поверхности поликремния в смеси KOH и спирта зависит от содержания воды в травителе. В безводных спиртах получаются изотропные профили. Степень анизотропии определяется содержанием воды в травители (рис. 15). Изотропные травители для кремния перечислены в табл. 6. Краткие сведения об анизотропных травителях для кремния приведены в табл. 7.
Таблица 5. Изотропное и анизотропное травление кремния.
 Травитель | Скорость травления, мкм/мин | Подтравливание (мкм/сторону)1) | |||||||
 | PS | ES | BS | PS | ES | BS | |||
Изотропный2) Изотропный3) Анизотропный4) | 3 0.8 0.7 | 4 0.6 0.9 | 4 0.5 1.1 | 1.5d 1.0d (0.1-1.0)d | 1.5d 1.0d <0.1d | 1.5d 1.0d <0.1d | |||
1) d- глубина травления. 2) HNO3 (65%)/HF(40%)/NaNO2 =95/5 мл/г.
3) HNO3 (65%)/H2 O/HF(40%)=100/40/6мл. 4) KOH/H2 O/n-пропанол=15г/50/15 мл.
Таблица 6. Изотропные травители для кремния.
Травитель | Применение |
|
HF, HNO3 , CH3 COOH HF, HNO3 , CH3 COOH HF, KMnO4 , CH3 COOH HF, HNO3 , H2 O2 +NH4 OH HF, HNO3 , CH3 COOH HF, HNO3 NH4 F, H2 O2 HF, HNO3 , I2 HF, HNO3 , CH3 COOH HNO3 , HBF4 , NH4 BF4 NH4 F, H2 O2 , NH4 HPO4 KOH+спирт |
Все разновидности Si Низкоомный Si Эпитаксиальный Si Удаление примесей Cu pnp - многослойные структуры pnp - многослойные структуры Минимальное подтравливание Общее травление Подтравливание плоскости (100) Маска из резиста AZ-1350 Скорости травления, Si/ФСС=2/1 Поликристаллический Si |
Таблица 7. Анизотропные травители для кремния.
Травитель | Применение |
|
Этиледиамин, пирокатехин, H7 O К-во Просмотров: 459
Бесплатно скачать Реферат: Жидкостное химическое травление
|