Реферат: Жидкостное химическое травление
Травление алюминия.
Жидкостное травление металлов включает в себя многие электрохимические процессы. Химическая реакция вызывает протекание тока, причем металл является анодом
M ® Mn+ + ne. (38)
Большинство металлов покрыто естественным окислом. Для удаления этого пассивирующего слоя добавляется вспомогательный травитель.
Известно большое число различных неорганических окислителей. Наиболее простые содержат Н+ . Основная задача химика-технолога заключается в выборе подходящего окислителя, удовлетворяющего требованиям термодинамики:
DF = -nФDЕ, (39)
где DF - свободная энергия, DЕ - разность потенциалов окисления и восстановления (табл. 8).
Таблица 8. Металлы и окислители.
Металл | Окислитель | Металл | Окислитель |
Al Zn Cr Ni | F2 H2 O2 MnO4 - Cr2 O7 2- | Sn Cu Ag Au | Br2 HNO3 Fe2+ I2 |
Жидкостное травление Al изотропно и сопровождается уходом края профиля травления (рис. 1) на 1-2 мкм. Воспроизводимость размеров при травлении партии пластин составляет ±1 мкм. ?