Курсовая работа: Разработка интегральных микросхем

±0,5°

±0,5 мм

±(0,5…0,8) мм

±(10…20) мкм

±(5…10) мкм

20…25 мм

30…35 мм

9…11 мм

16…20 мм

±0,5 %

Неплоскостность

Прогиб в исходном состоянии

Прогиб после термоиспытаний

Шероховатость рабочей стороны

Шероховатость нерабочей стороны

Механически нарушенный слой

Адсорбированные примеси

Атомы, ионы

Молекулы

76

100

76

100

76

100

76; 100

76; 100

76; 100

76; 100