Реферат: Изготовление кристаллов

1) перекрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом поворотом вентиля по часовой стрелке.

2) переключить вентиль на редукторе поворотом против часовой стрелки.

3) продуть систему азотом, выполняя переходы п.п. 6.1.

Табл. 1.

Наименование оборудования	Обозначение	Обозначение документа
Система диффузионная многотрубчатая СДОМ 3Л00	ДЕМ1 055 009	17.25001.00006
Система автоматизированная диффузионная АДС6-100	ДЕМ1 055 001	17.25001.00042

ОПЕРАЦИЯ УДАЛЕНИЕ ФОТОРЕЗИСТА В СМЕСИ КАРО

Оборудование.

установка химической обработки ЩЦМЗ 240 212

нагреватель ультрачистых сред ЩЦМЗ 031 173

кассета Æ07-0518

тара межоперационная ЩИТ - 725

пинцет Æ09-1114

держатель Æ03-0767

стекло 093-2, КЛ.2, штабик 50 ОСТ 11 110735 002-73

нарукавники полиэтиленовые ТУ 95 7037-73

термометр жидкостной стеклянный тип А ГОСТ 28 498-90

пластина со структурами 17.10201.00024

водорода перекись 17.10201.00022

кислота серная 17.10201.00024

вода деионизованная марка А ТВО 029 001 МК-02

спирт этиловый ректификованный технический марка “Экстра” ГОСТ 18300-87

перчатки резиновые А7-10 ГОСТ 3-88

салфетка из мадаполама ТВО 054 115 МК-01

салфетка из батиста ТВО 054 108 МК-02

Настоящая карта устанавливает порядок проведения процесса удаления пленок фоторезиста с кремниевых пластин, не имеющих металлических покрытий, в серной кислоте, а затем в смеси серной кислоты и перекиси водорода (смеси Каро).

Требования безопасности.

1.1 При проведении данного процесса возможны следующие виды опасности:

1) химические ожоги;

2) отравления;

3) электроопасность;