Реферат: Изготовление кристаллов
2.9 Заполнить промежуточную ванну деионизованной водой, открыв кран.
2.10 Проверить термометром температуру горячей деионизованной воды в промежуточной ванне. Она должна быть (65±5)0 С.
Если горячая вода в ванне не соответствует указанной температуре, работу остановить, сообщить неполадку.
2.11 Получить в кассете пластины, предназначенные для данной операции. Убедиться по сопроводительному листу, что полученные пластины предназначены для данной операции и что проведены предыдущие операции.
2.12 При измерении объемов жидких материалов допустимое отклонение обеспечивается имеющимися средствами измерения.
Технологический процесс.
3.1 Включить нагреватель ванн соответствующими тумблерами автомата НАГРЕВАТЕЛЬ, поставив тумблеры в верхнее положение, при этом должны загореться сигнальные лампочки.
3.2 Нагреть серную кислоту (в первой ванне) и смесь Каро (во второй ванне) до температуры (150±10)0 С.
При достижении технологической температуры загорается сигнальная лампочка регулятора температуры.
3.3 Открыть крышки ванн.
3.4 Убедиться с помощью термометра, что температура нагретой серной кислоты и смеси Каро соответствуют заданной.
В случае несоответствия температур по регулятору и термометру на величину, превышающую 100 С, вызвать наладчика для устранения несоответствия.
Разрешается начинать обработку пластин при температуре 1200 С.
3.5 Опустить кассету с пластинами с помощью ручки в ванну с нагретой серной кислотой.
Погружение кассет с пластинами проводить медленно. При возникновении бурной реакции при растворении фоторезиста поднять кассету. Следить за тем, чтобы пластины в процессе погружения остались в пазах кассеты.
3.6 Включить реле времени первой рабочей ванны.
3.7 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из первой ванны при загорании красной сигнальной лампочки.
В одной порции серной кислоты обрабатывать не более 1500 пластин.
При обработке пластин в первой рабочей ванне в серной кислоте после обработки каждых 250 пластин доливать серную кислоту 150-200 мл до уровня верхней отметки на стенке ванны.
3.8 Переставить кассету с пластинами во вторую рабочую ванну со смесью Каро.
3.9 Включить реле времени второй рабочей ванны.
3.10 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из второй ванны при загорании красной сигнальной лампочки.
В одной порции смеси Каро обрабатывать не более 300 пластин.
После обработки 100 пластин осторожно доливать в ванну со смесью Каро (200±50) мл перекиси водорода. Следующую доливку делать после обработки каждых 50 пластин.
3.11 Выдержать пластины в кассете в рабочем объеме в течении 1-2 минут.
3.12 Поместить кассету с пластинами в ванну с горячей деионизованной водой.
3.13 Промыть пластины в ванне с горячей деионизованной водой в течении 1-2 минут.
3.14 Перенести кассету с пластинами из промежуточной ванны в ванну каскадной промывки.
3.15 Проводить отмывку пластин в деионизованной воде в первой и во второй ваннах каскада в течении 2-3 минут в каждой ванне. В третьей ванне каскада выдержать до снижения сопротивления сливной воды 3 Мом·см по прибору контроля сопротивления деионизованной воды.