Реферат: Технологический процесс изготовления микромодуля этажерочного типа применительно к серийному производству

1.”Технология производства микромодулей”. Локтаев В.С.

2. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Учеб. Пособие для студентов вузов.

2-е издание переработанное и доп. – М.: Высшая школа, 1979.

3. Парфенов О.Д. Технология микросхем: Учеб. пособие для вузов по спец. “Конструирование и производство ЭВА” - М.: Высшая школа, 1986.

4.”Пленочная электроника и полупроводниковые интегральные схемы”.

Богдан Г.И., 1979 год.

5.”Технология производства микроэлектронных устройств”. Малышева И.А.,

1980 год.