Курсовая работа: Разработка конструкции топологии и технологического процесса изготовления интегральной микросхемы

Б

Сушильный шкаф

О

Операция проводится сначала в парах этилового спирта, а затем в потоке горячего осушенного азота в центрифуге при частоте обращения 20000 оборотов в минуту.

А

025

Окисление

Б

Диффузионная печь СДО-125/3-12

О

Окисление проводится в два этапа:

- газовая полировка(проводится в специальных печах);

устанавливается нужное распределение температуры и печи с потоком азота;

устанавливается поток газа-носителя (водород, 8 л/мин; печь с

внутренним диаметром трубы 35 мм), а поток азота перекрывается;

вносят лодочку с пластинами и выжидают 5 мин до установления теплового равновесия;

к газу-носителю добавляют требуемый поток хлористого водорода;

полируют в течение 10 мин (обычная продолжительность полировки);

прекращают поток НСl и вынимают пластины.

Скорость полировки зависит от температуры и концентрации хлористого водорода. Удельное сопротивление, тип проводимости и поверхностная обработка кремния не оказывают заметного влияния на скорость полировки.

Качество полировки связано с чистотой хлористого водорода. В выпускаемом промышленностью хлористом водороде иногда присутствует ацетилен; это нежелательно, поскольку приводит к образованию матовых поверхностей.

Нежелательным является также наличие двуокиси углерода и воды.

- Окисление

От газовой полировки можно переходить сразу к процессу

окисления простым изменением состава газового потока. При этом не

требуется вынимать пластины из печи. Для быстрого получения качественной плёнки, окисление производят сначала в сухом кислороде для формирования пленки, затем длительно окисляют во влажном кислороде и окончательной стадией является формовка окисла в сухом кислороде.

А

030

Первая фотолитография