Курсовая работа: Разработка конструкции топологии и технологического процесса изготовления интегральной микросхемы

Химическая обработка

Б

Автомат химической обработки полупроводниковых пластин АФОП

О

Операция проводится кипячением в смеси NH4OH : H2О : H2О2 (1:1:1) и промывкой в деонизированной воде.

А

090

Диффузия бором, I стадия

Б

Диффузионная печь СДО-125/3-12

О

Аналогично операции 065.